长期供应PECVD用陶瓷三件套

1.包括陶瓷螺母、陶瓷垫片、弹性垫圈。

2.不易松动，可减少石墨舟在运转过程中螺母松动导致掉片。

3.可有效减少人工检查、校舟的步骤，减少作业量，让石墨舟在插取片和炉管工艺更稳定。